美国api XD3LS激光干涉仪

• 更新时间：2020-02-26
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美国api XD3LS激光干涉仪
XD-3D激光干涉仪有一个良好紧凑的激光头（内置控制器）。激光头在测量安装上非常方便，用户可以直接将它安装在机床上，灵活的安装方式给予用户很大的灵活性。该系统的主要部件有激光头（包括干涉镜组、激光控制部件和以太网通信模块、电源）、环境传感器（称为气象站）、反射镜（XD-3D配置）.

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美国api XD3LS激光干涉仪

激光干涉仪 激光干涉仪介绍：

激光干涉仪 激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。介绍 激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。分类激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频激光干涉仪从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式[356-11]式中λ为 激光波长(N 为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。双频激光干涉仪 在氦氖激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应, 激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路：一路成为仅含有f1的光束,另一路成为仅含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2 ±Δf的光束，Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的，即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来仅含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf）的测量光束。测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为仅含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后，由电子计算机进行当量换算（乘 1/2激光波长）后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。

API XD Laser激光干涉仪的组成:
XD Laser激光干涉仪是在LMS激光干涉仪的基础.上进行了改进。将控制箱集成到激光头里,将原先的有线数据传输改为全程无
线数据传输。因此、XD Laser激光干涉仪是由激光头、传感器、气象站、笔记本电脑和连接整个系统的电缆组成。

XD Laser激光干涉仪技术综述:
●1D激光主要可以测量定位误差
●3D激光可以测星定位误差、直线度误差(双向)
●5D/6D激光可以测星定位误差、直线度误差(双向)、偏摆角、俯仰角和滚动角

主要特点:
一同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角
一设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器
一可选的无线遥 控传感器长的控制距离可到25米
一可测星速度、 加速度、振动等参数,并评估机床动态特性。
-设计紧凑、体积小,测量机床时不需三角架
一集成干涉镜与激光器于一体,简化了调整步骤,减少了调整时间

产品特点：
1、XD-3D激光干涉仪有一个良好紧凑的激光头(内置控制器)。激光头在测量安装上非常方便，用户可以直接将它安装在机床上，灵活的安装方式给予用户很大的灵活性。该系统的主要部件有激光头(包括干涉镜组、激光控制部件和以太网通信模块、电源)、环境传感器（称为气象站）、反射镜（XD-3D配置）.

2、API干涉仪激光头、干涉镜、控制器放在了主机一体，直接从主机出光配合反射镜两点调光的测量，其它厂家，激光头、干涉镜，反射镜分成了三个部分，在调整一个线性上是三点对光的调整，*，两点对光比三点对光更方便快捷。

3、XD-3D激光干涉仪一次安装可以同时测量机床的多个参数，相比于传统的激光干涉仪，测量中不需要更换镜组，不要重新调整光路，大大提高了测量效率。

4、配垂直度附件的XD-3D系统，只需要两次安装，就可以得到两根被测轴线各自的线性精度（定位精度、重复定位精度、反向间隙）、水平方向直线度、垂直方向直线度以及两轴之间的垂直度共7个参数，节省测量时间80%以上。

5、XD-3D激光干涉仪做直线度测量的时候，可以同时测量被测导轨水平和竖直两个方向的直线度。可以实现准直仪的功能，利用其可以实现长导轨安装中直线度（水平和竖直）两个方向的实时调整，调整过程中不受光路断光的影响。

XD Laser被来自世界名地的API用户用于:
、CMMICNC的校准、 补偿
机床导轨平行度的测量
、旋转额的测量
垂直度的测量
、对角线的测量
、CNC反馈
、机器人位置反馈: